ثالث أكسيد الإيتريوم
الاسم: إتريوم (Y)
يترسب ثلاثي أكسيد الإيتريوم (Y2O3) عن طريق تبخير مسدس الإلكترون، وتختلف خصائصه باختلاف سمك الفيلم. يبلغ معامل الانكسار الخاص به حوالي 1.8 عند 500 نانومتر، مما يجعله شائعًا للغاية كفيلم واقٍ من الألومنيوم. وبالمقارنة بشكل خاص بزاوية السقوط العالية في منطقة 800-12000 نانومتر، يمكن استخدامه كفيلم واقٍ للنظارات، ويتعرض للرطوبة لمدة 24 ساعة. وهو عادة ما يكون في شكل حبيبات وقشور.
مدى النفاذية (نانومتر) معامل الانكسار (نيوتن) 500 نانومتر درجة حرارة التبخر (درجة) مصدر التبخر تطبيق التركيب البخاري
250-8000 1.79 2300-2500 فيلم مضاد للانعكاس للبندقية الإلكترونية، فيلم واقٍ من الألومنيوم
ثاني أكسيد السيريوم
الاسم: ثاني أكسيد السيريوم (CeO2)
باستخدام أوعية قوارب التنغستن عالية الكثافة (المستخدمة سابقًا) للتبخر، يتبخر ثاني أكسيد السيريوم على ركيزة عند 200 درجة، مما ينتج عنه معامل انكسار يبلغ حوالي 2.2. يوجد نطاق امتصاص عند حوالي 3000 نانومتر، ويتغير معامل الانكسار بشكل كبير مع درجة حرارة الركيزة. في منطقة 500 نانومتر من الركيزة عند 300 درجة، يكون معامل الانكسار 2.45، ويحدث الامتصاص عندما يكون الطول الموجي أقصر من 400 نانومتر. تفتقر طرق التبخر التقليدية إلى الاكتناز، وباستخدام الطلاء بمساعدة أيونات الأكسجين، يمكن الحصول على طبقة رقيقة منخفضة الامتصاص مع n=2.35 (500 نانومتر)، عادةً في شكل حبيبات، ويمكن أيضًا استخدامها كفيلم مضاد للانعكاس ومرشح.
نطاق النفاذية (نانومتر) معامل الانكسار (نيوتن) 500 نانومتر درجة حرارة التبخر (درجة) مصدر التبخر تطبيق الشوائب انبعاثات الغاز
400-16000 2.35 حوالي 2000 فيلم مضاد للانعكاس من بندقية الإلكترون، العديد
الاسم: أكسيد المغنيسيوم (MgO)
يجب استخدام مسدس إلكتروني للتبخير لأن المادة متسامية وصلبة ومتينة ولديها اختراق جيد للأشعة فوق البنفسجية (UV). عند 250nm، n=1.86190nm، n=2.06166nm، تكون قيمة K 0.1، n=2.65. يمكن استخدامها كمادة فيلم الأشعة فوق البنفسجية. تتمتع مجموعة غشاء MGO/MGF2 بنفاذية جيدة من 200 نانومتر إلى 400 نانومتر، ولكن طبقة الغشاء محدودة في حدود 60 طبقة (بسبب إجهاد الغشاء)، ويتم الحصول على n=1.70 على الركيزة البيئية عند 500 نانومتر. نظرًا لتداخل ثاني أكسيد الكربون الجوي، يشكل السطح المكشوف لـ MGO سطحًا ضبابيًا أزرق فاتحًا مشتتًا، والذي يمكنه استخدام طبقة AR التقليدية ذات مؤشر الانكسار MHL 3- بنجاح (MgO/CeO2/MgF2).